颗粒的大小&形状

外形小巧、运营成本低、应用范围广

HORIBA的PD系列产品运转效率高，具有长期稳定性，受到众多半导体制造工厂的高度评价。继承了各个结构简单、长期稳定运转的搬运系统，高通过量、可靠性高的光学系统，以及具有防误测功能等高性能设备并巧妙组合成一个整体的产品就是PR-PD3。和以往的机型(PR-PD2)相比，它的外形尺寸小了约1/2，追求低运营成本。检测灵敏度达到0.5μm，具有广泛通用性。诞生了可以用来满足光掩模(reticle/mask)上异物检测这一广泛需求的简便装置。

The LA-930 uses Mie Scattering (laser diffraction) to measure particle size of suspensions or dry powders. The speed and ease-of-use of this technique makes it the most popular for many applications.

LB-550采用了动态光散射技术，能够测量非常高浓度的悬浮液，高达40%固容量的浓度范围，1nm-6um的测量范围。

实用，低操作成本及广泛的应用性，适用于 glass, chrome and pellicle各表面的检测

MEXA-2000SPCS是一套采用凝缩离子法测量发动机尾气排放中颗粒物的设备

超精度检测，可至0.35µm ， 适用于检测Chrome, glass 以及 Pellicle表面

PR-PD2是通过激光散射方式对曝光工艺中光掩模上的细小颗粒进行检测的装置。可检测光掩模图案面(Pattern Surface)上的最小粒径为0.35μm。并且通过线＆空间1.0〜1.5μm的图案识别功能，可以把检测误差抑制在最低限度。

TW-100是HORIBA专为给水系统设计的一款水质分析仪。其设计紧凑，能同时监测4项参数（浊度，色度，余氯以及水压）或多达7项参数（标准四参数外加pH,电导率和水温）。而且无需试剂。