技术支持测量

CS-137高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保BHF溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。

在最近几年里，HORIBA公司的Dynas3系列测功机已经处于发动机动态测试领域的领先地位。

DYNAS 3 HD系列电力测功机特别适合重型卡车发动机测试领域。

DYNAS3 LI系列--低惯量电力测功机适合应用于测试所有汽油发动机，作为吸收和反拖电机。低的转动惯量和高的过载能力使测功机的转动加速度可以达到12.000 rpm/s以上，保证了高动态响应。

在线多样监测！！

适用于使用批次式、单槽、单晶圆各方式的清洗装置。

适合于使用单槽或多槽方式的清洗装置

外形小巧、响应快速的SC-1溶液浓度计

CS-152高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的SC-1溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测清除金属离子时所使用的SC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保SC-1溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。由于测量周期短，可以精确地跟踪浓度变化，小巧化设易于组装到清洗装置中。

HORIBA的SPARC控制器能提供高级的智能的控制方法来控制旋转的和线性运动的实验室机械，特别是用于引擎，传动器，和车辆测功机系统。多种控制和模拟方式在SPARC中都是可用的，包括路况模拟（RLS）和服务负载模拟（SLR）。

CS-150是半导体制造中清洗工艺的SPM溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以实时检测金属离子以及有机物的清除作业中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分浓度，通过报警信号通知自动补给的时间。由于实现了高速响应性和短的检测周期，可以忠实地跟踪浓度变化，并且，由于小巧化设计，可以更容易组装到清洗装置中。

STARS是由世界级的HORIBA公司和Ricardo公司联合开发的。STARS是一个功能强大、灵活和多用途的产品，整合了测试过程，可以满足您所有的测试需求。具备发动机测试需要的所有功能，从试验台控制到数据管理和报告制作等。