质量控制

Silicon crystal is widely used in semiconductors. The PHOTOLUMINOR-D has been designed especially for quantitative impurity analysis of silicon crystals with high sensitivity.

The application of photoluminescence for the quality...

The PHOTOLUMINOR-S has been designed for R&D in many applications and provides high performance and easy operation.   High-sensitivity measurement is important for detecting weak photoluminescence...

超精度检测，可至0.35µm ， 适用于检测Chrome, glass 以及 Pellicle表面

PR-PD2是通过激光散射方式对曝光工艺中光掩模上的细小颗粒进行检测的装置。可检测光掩模图案面(Pattern Surface)上的最小粒径为0.35μm。并且通过线＆空间1.0〜1.5μm的图案识别功能，可以把检测误差抑制在最低限度。

SLFA-2100/2800荧光X射线硫分析仪是专为满足近期低硫燃料，柴油和RFG中硫元素新的检测要求。

SPRi-Arrayer微阵列点样仪是一款全自动、轻巧、宜于携带的分析测试仪器，该仪器使用Xtend的金属陶瓷毛细管针，针对DNA、低（聚）核苷酸、蛋白质、细菌的无性繁殖以及其他材料在极低交叉污染条件下的分子动力学（分子结合或分裂）、分子间结合力、分子浓度，以及靶向分子实时检测。

一系列高效率的拉曼传感器组成拉曼探头，可以用于进行在线的、非介入性拉曼分析。可以提供浸入式、不同温度下的/不同压力下的以及带摄像头的光纤探头。

Xelplex 系统–利用表面等离子共振分析成像技术，是无需荧光标定、多通道生物鉴定及生物研究的最理想方法。

单点分析以及自动球面成像.

双真空管模式.

光斑尺寸自1.2 mm 到 10 µm.