表层分析

Auto SE——让您的例行测量工作不再枯燥！

产品:

UVISEL VIS: 210-880 nm

UVISEL FUV: 190-880 nm

UVISEL NIR: 245-2100 nm

UVISEL ER: 190-2100 nm

UVISEL VUV: 142-880 nm

测量薄膜厚度和光学常数。用于研究和工艺发展.

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外形小巧、运营成本低、应用范围广

HORIBA的PD系列产品运转效率高，具有长期稳定性，受到众多半导体制造工厂的高度评价。继承了各个结构简单、长期稳定运转的搬运系统，高通过量、可靠性高的光学系统，以及具有防误测功能等高性能设备并巧妙组合成一个整体的产品就是PR-PD3。和以往的机型(PR-PD2)相比，它的外形尺寸小了约1/2，追求低运营成本。检测灵敏度达到0.5μm，具有广泛通用性。诞生了可以用来满足光掩模(reticle/mask)上异物检测这一广泛需求的简便装置。

GD-Profiler 2™提供了快速、同时分析所有感兴趣的元素，包括氮、氧、氢和氯。是薄膜描述和工艺研究的理想工具。

实用，低操作成本及广泛的应用性，适用于 glass, chrome and pellicle各表面的检测

MP-32S/M requires SEM as excitation source and it can evaluate defects, impurities and crystalline construction in micro region.

MR-VS series are new special instruments for spectrum measurement which employ compact spectrograph and optical fiber.

Easy measurement of cathodoluminescence spectrograph by mounting to SEM.

超精度检测，可至0.35µm ， 适用于检测Chrome, glass 以及 Pellicle表面

PR-PD2是通过激光散射方式对曝光工艺中光掩模上的细小颗粒进行检测的装置。可检测光掩模图案面(Pattern Surface)上的最小粒径为0.35μm。并且通过线＆空间1.0〜1.5μm的图案识别功能，可以把检测误差抑制在最低限度。

一系列高效率的拉曼传感器组成拉曼探头，可以用于进行在线的、非介入性拉曼分析。可以提供浸入式、不同温度下的/不同压力下的以及带摄像头的光纤探头。

TAPPS is a complete pump/probe transient absorption system designed to assist scientists in understanding the deactivation dynamics of excited states.