半导体&FPD制造过程控制

UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效，响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器

搭载冷却检测方式的质量流量传感器

由于是无载体类型，所以可以构筑小型气化系统

由于通过质量流量来测定发生量，所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。

能够监测从低浓度到高浓度范围的臭氧浓度

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。

在线多样监测！！

适用于使用批次式、单槽、单晶圆各方式的清洗装置。

24小时实时监测半导体湿法蚀刻中的FPM药液浓度

The IR-150 is designed for real time inline concentration measurement using a Non-dispersive infrared (NDIR) method

GD-Profiler 2™提供了快速、同时分析所有感兴趣的元素，包括氮、氧、氢和氯。是薄膜描述和工艺研究的理想工具。

高效率过程专用拉曼分析仪，坚固耐用，稳定可靠，适用于拉曼监测。