气体控制&分析

低成本电磁阀质量流量计,能适用于从0.2sccm to 500slm的N2以及相同气体的流量控制

基本型号的流量计

MV-2000系列实现高效的汽化，即使在低温情况下也可通过螺旋式加热达到汽化效果。此种汽化方式适用于半导体制造工艺，诸如“High-k”——一种易热解的液体源

通过气液混合气化方式实现了液体材料的高效率气化

提供多气体，多量程的解决方案，是HORIBA销量第一的气体质量流量控制器。高精度，快速响应，轻巧的尺寸。全金属

它内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。

通过金属封口方式实现了超低泄漏

不仅可进行气体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制

Low cost solenoid valve mfc's are suitable for flow control from 0.2sccm to 500slm N2 equivalent.

GR-300系列产品可用于控制对由静电夹固定的晶圆的背面进行冷却的气体

适用于使用He，Ar等气体进行冷却的设备系统