薄膜的控制&分析

Auto SE——让您的例行测量工作不再枯燥！

Endpoint controller for plasma etch cluster tools: Simultaneous Real Time Multi-Chamber - Multi diagnosis monitor

产品:

UVISEL VIS: 210-880 nm

UVISEL FUV: 190-880 nm

UVISEL NIR: 245-2100 nm

UVISEL ER: 190-2100 nm

UVISEL VUV: 142-880 nm

测量薄膜厚度和光学常数。用于研究和工艺发展.

Auto SE——让您的例行测量工作不再枯燥！

通过气液混合气化方式实现液体材料的高效率气化

它最适于各种工艺的生产线压力测量

通过输入压力控制设定信号，可以远程控制生产线压力

内置有高性能压力传感器和压电阀

最适于超清洁类型的工艺生产线

The EC-5000 series exhaust pressure controller can maintain a consistent pressure...

适用于相关范围的液体源的稳定加热系统

Integrated management with an in-situ real time monitor "DIGI Series" for next-generation thin-film processes

Embedded version designed for integration as an OEM module.

UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效，响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器

搭载冷却检测方式的质量流量传感器

由于是无载体类型，所以可以构筑小型气化系统

由于通过质量流量来测定发生量，所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。