薄膜的控制&分析

如果质量流量控制器中产生了不良现象时，为了找出原因，必须要发现构成MFC系统的SEC・电源・显示器・设定器・电缆等异常以及SEC自身的不良原因。通过MFT-20可以对驱动SEC、输入输出的电压进行监测，或者通过MFT-20的控制，检查SEC是否正常。因此，在从装置配管上卸下SEC之前，可以迅速地确认SEC的故障以及电源等的故障。并且，通过内置在主体中的电位差计也可以控制SEC。

不必卸下配管，可以简便地进行检测。

不需要电源(使用原有的信号电缆的电源)

可以阀门全开/全关闭

可以使用自动清零功能(仅装备了自动清零功能的SEC)

大流量(〜1000SLM)气体流量控制器

适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3

它是搭载有温控阀的基本型号。

利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。

高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制。

低成本电磁阀质量流量计,能适用于从0.2sccm to 500slm的N2以及相同气体的流量控制

基本型号的流量计

MV-2000系列实现高效的汽化，即使在低温情况下也可通过螺旋式加热达到汽化效果。此种汽化方式适用于半导体制造工艺，诸如“High-k”——一种易热解的液体源

通过气液混合气化方式实现了液体材料的高效率气化

提供多气体，多量程的解决方案，是HORIBA销量第一的气体质量流量控制器。高精度，快速响应，轻巧的尺寸。全金属

Endpoint controller for plasma etch cluster tools: Simultaneous Real Time Multi-Chamber - Multi diagnosis monitor