薄膜的控制&分析

它内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。

通过金属封口方式实现了超低泄漏

不仅可进行气体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制

Low cost solenoid valve mfc's are suitable for flow control from 0.2sccm to 500slm N2 equivalent.

高速响应、小型化的化学药液浓度计,TMAH/H2O2药液浓度计是单晶圆和批次式清洗设备的理想之选

高性能自动三级 拉曼光谱仪 ，具备超高的光谱分辨率和杂散光抑制能力，显微和宏观样品测量能力

在线椭圆偏振光谱仪用于涂镀和连续卷式系统

产品:

UVISEL VIS: 210-880 nm

UVISEL FUV: 190-880 nm

UVISEL NIR: 245-2100 nm

UVISEL ER: 190-2100 nm

UVISEL VUV: 142-880 nm

测量薄膜厚度和光学常数。用于研究和工艺发展.

集成了椭圆偏振光谱仪和反射光谱仪

GR-300系列产品可用于控制对由静电夹固定的晶圆的背面进行冷却的气体

适用于使用He，Ar等气体进行冷却的设备系统

Xelplex 系统–利用表面等离子共振分析成像技术，是无需荧光标定、多通道生物鉴定及生物研究的最理想方法。

单点分析以及自动球面成像.

双真空管模式.

光斑尺寸自1.2 mm 到 10 µm.