数字式液体流量计LF-F系列

品　　牌：HORIBA STEC
产品型号：LF-F20M-A
适用范围：各芯片厂、高教
所在地区：国外 日本

概要
数字式液体流量计LF-F系列搭载有世界上首次采用冷却检测方式的流量传感器。

特征

• 通过采用数字回路，实现了高精度・高速响应。

• 可以进行微升以上的微小流量控制。

• 可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。

• 超洁净类型

注意事项：

1： 数字式液体流量计LF-F系列利用1种液体进行了流量校正 (请预先指定所使用的液体。)

• 对象液体种类的选择：可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外

• 不能检测含有固体物的液体。

• 如果混合液中混合比会发生变化时，请预先联系我们进行咨询协商。

2： LF-F类型数字式液体流量计根据流量量程，可以适用到最大值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
3：精度：±1% F.S. 线性：±0.5% F.S. 重复性：±0.5% F.S.（以SEMI E56-1296 为准）
4： 使用环境温度：5〜50℃ (15 〜 45℃精度的确保)

• 进行测量的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以内

• 如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。