自动供液系统LU系列 实现气化的稳定与效率

HORIBA集团生产的自动供液系统可实现绝大多数的液体供应。在半导体制程中，如何安全有效的实现液体传输及气化是非常紧要的一个过程。针对此点，HORIBA集团在综合考量各种液体特性设计出一款液体源自动供液系统LU系列。
此套系统的实现可有效保证执行气化前的液体源稳定供应传输，实现气化的稳定与效率。

HORIBA集团的气化系统主要有三种加热方式，一种为直接注入式、一种为混合注入式，还有一种为直接加热式。针对三种不同的气化加热方式，LU系统也有分别不同的型号以应对，确保提供不间断，安全和可靠的液体传输，增加实际作业时间、减少操作人员手动操作和制程污染的危险。LU系列自动供液系统为无浪费的液体供应系统，为了防止在源罐更换操作中的失误，LU-A1000系列会自动实现残留液体吹扫步骤（作为LU-A1000的标准功能）。

LU系列自动供液系统的特点：

• 领先的全球化标准模范

获得多项认证SEMI标准认证，比如：SEMI-S2
RoHS认证

• 更小的占地面积

此款LU系列相较上代减少30%的占地面积，提高了厂内的面积利用率

• 装备安全特性功能

当更换液体源罐时，LU会自动检测管道内部的残留液体。此外LU系列包含各种监测功能，当LU监测到危险情况会自动触发警报并关闭液体源供应，避免安全事故的发生。

• 一对多功能

一台LU可装备4条输出管道，可与4台气化设备所连接，实现更加经济的液体源传输。