制造业

The PHOTOLUMINOR-S has been designed for R&D in many applications and provides high performance and easy operation.   High-sensitivity measurement is important for detecting weak photoluminescence...

它内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。

通过金属封口方式实现了超低泄漏

不仅可进行气体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制

超精度检测，可至0.35µm ， 适用于检测Chrome, glass 以及 Pellicle表面

PR-PD2是通过激光散射方式对曝光工艺中光掩模上的细小颗粒进行检测的装置。可检测光掩模图案面(Pattern Surface)上的最小粒径为0.35μm。并且通过线＆空间1.0〜1.5μm的图案识别功能，可以把检测误差抑制在最低限度。

适合于使用单槽或多槽方式的清洗装置

外形小巧、响应快速的SC-1溶液浓度计

CS-152高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的SC-1溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测清除金属离子时所使用的SC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保SC-1溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。由于测量周期短，可以精确地跟踪浓度变化，小巧化设易于组装到清洗装置中。

Low cost solenoid valve mfc's are suitable for flow control from 0.2sccm to 500slm N2 equivalent.

SpectrAcq2不仅仅是另一套读出系统－－它是结构紧凑、高速率、高性能的光谱数据采集控制器，专为先进光谱及光测量应用而设计.

CS-150是半导体制造中清洗工艺的SPM溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以实时检测金属离子以及有机物的清除作业中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分浓度，通过报警信号通知自动补给的时间。由于实现了高速响应性和短的检测周期，可以忠实地跟踪浓度变化，并且，由于小巧化设计，可以更容易组装到清洗装置中。

SPRi-Arrayer微阵列点样仪是一款全自动、轻巧、宜于携带的分析测试仪器，该仪器使用Xtend的金属陶瓷毛细管针，针对DNA、低（聚）核苷酸、蛋白质、细菌的无性繁殖以及其他材料在极低交叉污染条件下的分子动力学（分子结合或分裂）、分子间结合力、分子浓度，以及靶向分子实时检测。