UVISEL FUV光谱型椭偏仪将UVISEL VIS的工作波段扩展到190nm。

UVISEL NIR光谱型椭偏仪将UVISEL VIS的工作波段扩展到近红外2100nm

UVISEL Plus

产品:

UVISEL VIS: 210-880 nm

UVISEL FUV: 190-880 nm

UVISEL NIR: 245-2100 nm

UVISEL ER: 190-2100 nm

UVISEL VUV: 142-880 nm

测量薄膜厚度和光学常数。用于研究和工艺发展.

UVISEL VIP

集成了椭圆偏振光谱仪和反射光谱仪

The UVISEL VIS spectroscopic ellipsometer covers the spectral range from 210 to 880 nm, and can be easily extended in both FUV and NIR range (see UVISEL FUV and NIR models). The measurement is performed in a few minutes and is extremely repeatable.

晶圆背面冷却系统  GR-300系列

GR-300系列产品可用于控制对由静电夹固定的晶圆的背面进行冷却的气体

适用于使用He,Ar等气体进行冷却的设备系统