进一步制造业

The NIR MicroHR is a 140 mm focal length spectrometer featuring gold optics (for increased through-put in the NIR spectral region) and interchangeable gold gratings for optimization of optical components and wavelength range selection.

MP-32S/M requires SEM as excitation source and it can evaluate defects, impurities and crystalline construction in micro region.

Nanolog®系列是专门用于纳米技术和纳米材料判断的研究，可以检测到800-1700 nm的近红外范围。同时可以测量可见和紫外的荧光光谱。

NZ-3000氧化锆氧气分析仪可在电力用锅炉、小型锅炉、工业炉以及各种燃烧装置的烟道内插入探针，对氧气浓度进行检测。

PR-PD2是通过激光散射方式对曝光工艺中光掩模上的细小颗粒进行检测的装置。可检测光掩模图案面(Pattern Surface)上的最小粒径为0.35μm。并且通过线＆空间1.0〜1.5μm的图案识别功能，可以把检测误差抑制在最低限度。

适合于使用单槽或多槽方式的清洗装置

外形小巧、响应快速的SC-1溶液浓度计

CS-152高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的SC-1溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测清除金属离子时所使用的SC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保SC-1溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。由于测量周期短，可以精确地跟踪浓度变化，小巧化设易于组装到清洗装置中。

SpectrAcq2不仅仅是另一套读出系统－－它是结构紧凑、高速率、高性能的光谱数据采集控制器，专为先进光谱及光测量应用而设计.

CS-150是半导体制造中清洗工艺的SPM溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以实时检测金属离子以及有机物的清除作业中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分浓度，通过报警信号通知自动补给的时间。由于实现了高速响应性和短的检测周期，可以忠实地跟踪浓度变化，并且，由于小巧化设计，可以更容易组装到清洗装置中。

Symphony系列CCD探测器是世界上光学光谱研究者；HORIBA Jobin Yvon公司的一类阵列探测器。Symphony CCD探测器集高灵敏度、高速率、低噪音、坚固耐用，紧凑及高性价比于一体，该探测器是光谱探测方面一项巨大的变革，在各类光谱应用中也表现出卓越的性能。