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大气PM2.5监测仪APDA-375A & 大气PM10监测仪APDA-371

大气PM2.5监测仪APDA-375A & 大气PM10监测仪APDA-371采用β射线吸收法测量大气中的PM2.5和PM10。

大气污染监测用THC监测仪 APHA-370

APHA-370将火焰电离检测方法和选择性燃烧技术结合起来，使得单检测器法有了极大的提高，能同时对CH4、NMHC和THC进行无零点漂移的连续监测。该仪器的完美设计确保了极高的稳定和灵敏度。

大气污染监测用CO监测仪 APMA-370

APMA-370采用了交替流动调制型红外吸收技术，无需对仪器进行烦琐的光学调整。对用户而言，这意味着检测结果的极高的稳定性和灵敏度。

BHF浓度计 CS-137

CS-137高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保BHF溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。