
Industry
Rubber / Ceramics / Glass / Cement
The 750M delivers the resolution of a typical 1.0 metre spectrometer and the throughput of a smaller instrument in a convenient package.
大气PM2.5监测仪APDA-375A & 大气PM10监测仪APDA-371采用β射线吸收法测量大气中的PM2.5和PM10。
APNA-370采用了双向交替流动调制型化学发光测量原理和相关计算法的组合,这使单检测器法有了极大的改进和提高,从而能对NO、NO2和NOx进行连续监测。这种完美的设计也确保了极好的稳定性和极高的灵敏度。
CS-137高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化,可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制,可以确保BHF溶液的浓度保持在允许范围内,同时,还可以避免不必要的药液更换工作。
外形小巧、运营成本低、应用范围广
HORIBA的PD系列产品运转效率高,具有长期稳定性,受到众多半导体制造工厂的高度评价。继承了各个结构简单、长期稳定运转的搬运系统,高通过量、可靠性高的光学系统,以及具有防误测功能等高性能设备并巧妙组合成一个整体的产品就是PR-PD3。和以往的机型(PR-PD2)相比,它的外形尺寸小了约1/2,追求低运营成本。检测灵敏度达到0.5μm,具有广泛通用性。诞生了可以用来满足光掩模(reticle/mask)上异物检测这一广泛需求的简便装置。









