Dry

GR-300系列产品可用于控制对由静电夹固定的晶圆的背面进行冷却的气体

适用于使用He，Ar等气体进行冷却的设备系统

适用于高温环境的数字式质量流量控制器

提供多气体，多量程的解决方案，是HORIBA销量第一的气体质量流量控制器。高精度，快速响应，轻巧的尺寸。全金属

如果质量流量控制器中产生了不良现象时，为了找出原因，必须要发现构成MFC系统的SEC・电源・显示器・设定器・电缆等异常以及SEC自身的不良原因。通过MFT-20可以对驱动SEC、输入输出的电压进行监测，或者通过MFT-20的控制，检查SEC是否正常。因此，在从装置配管上卸下SEC之前，可以迅速地确认SEC的故障以及电源等的故障。并且，通过内置在主体中的电位差计也可以控制SEC。

不必卸下配管，可以简便地进行检测。

不需要电源(使用原有的信号电缆的电源)

可以阀门全开/全关闭

可以使用自动清零功能(仅装备了自动清零功能的SEC)

可以通过简单操作进行精密流量测量。

它是搭载有温控阀的基本型号。

利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。

高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制。

The EC-5000 series exhaust pressure controller can maintain a consistent pressure...

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。

低成本电磁阀质量流量计,能适用于从0.2sccm to 500slm的N2以及相同气体的流量控制

适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3