Dry

由于是无载体类型，所以可以构筑小型气化系统

由于通过质量流量来测定发生量，所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。

它内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。

通过金属封口方式实现了超低泄漏

不仅可进行气体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制

LU系列产品可自动输送化学药液至加热系统或液体喷射系统。安全，高效，保证液体源供应不间断。

适用于相关范围的液体源的稳定加热系统

搭载冷却检测方式的质量流量传感器

MV-2000系列实现高效的汽化，即使在低温情况下也可通过螺旋式加热达到汽化效果。此种汽化方式适用于半导体制造工艺，诸如“High-k”——一种易热解的液体源

通过气液混合气化方式实现了液体材料的高效率气化

基本型号的流量计

Integrated management with an in-situ real time monitor "DIGI Series" for next-generation thin-film processes

它是搭载有温控阀的基本型号