光谱是一种强大的技术,其灵敏度非常高。它们具有非破坏性的特点,能利用光纤光学探针进行在线或者远程测量。目前,这些技术在工业中被广泛应用。下表中举例列出了当前技术水准下的应用及可获得的信息。以下分析技术和仪器用于工业过程,请点击后面的“对勾”以获得更多信息。
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烘干/水合 | | | ■ |
乳状液 | | | ■ |
顶空分析 | | | ■ |
批量测量、多样品阵列 | | | ■ |
沉积过程的在线深度控制 | | ■ | |
在线薄膜监测和控制 | | ■ | |
PAT | | | ■ |
等离子刻蚀过程控制 | | ■ | |
等离子刻蚀的深度控制(1-5微米) | | ■ | |
等离子刻蚀界面检测 | | ■ | |
等离子监测和终点检测 | | ■ | |
聚合/挤压 | | | ■ |
多态性 | | | ■ |
原料的批量分析 | | | ■ |
反应监测 | | | ■ |
浑浊液和悬浮液 | | | ■ |
溶液/反应混合 | | | ■ |
薄膜生长或刻蚀监测 | | ■ | |
清洗液废液分析 | | | ■ |