合金组分，能带结构

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能带结构，PLE/PL

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金属化合物

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污染

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晶体（硅）

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掺杂效应

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铁电薄膜

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CdSe纳米颗粒的荧光光谱

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异质结构

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高、低k值材料

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硅上的多层结构分析

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ONO 薄膜

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光学性质

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氧化多孔硅

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光致发光

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等离子刻蚀终点技术

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试剂，例如：纯水、H₂SO₄, H₃PO₄, HCl, HNO₃, NH₃, photo-resist

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多孔硅

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圆晶片生产材料质量控制

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硅上的BPSG定量分析

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原料的痕量元素分析

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SOI薄膜

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应力/应变

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超晶格结构和缺陷研究

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超导

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厚度（单层，多层，自氧化，粗糙度，界面）

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薄膜晶体管，MOSFET，OTFT

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薄膜平面方向和深度方向的均匀性

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