材料表征

椭圆偏振光谱是一种光学无损检测技术。这种技术可以对薄膜、表面及界面进行精确的表征。它可以测量膜厚从  1Å 到几十毫米，并得到光学常数、组分、各向异性、结晶度和均匀性。

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