试验气体反应
HORIBA提供混合气体控制。混气的应用面非常广，诸如评判气体传感器或检测金属腐蚀。在研发气体传感器或金属材料时，能够评判传感器的特殊材质或金属材质是非常重要。在测试工艺过程中控制气体的湿度平衡是相当困难，但是HORIBA可以提供高精度的气体湿度平衡，通过使用如下产品，气体质量流量控制器（SEC-Z512MGX)，液体流量计（LF-F20M-A），汽化器（MV-2000）。
HORIBA是支持您研发的更好选择。
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针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属
HORIBA荣获液体传输系列大奖（FDM系列），此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统，实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。
FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程，同样可以用于BBr3的扩散制程，减少运输和人力成本，提高安全性。