气体质量流量控制器&气体流量计
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。
*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 PROFIBUS是一种国际化的通讯方式标志。
针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属
适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3
它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制。
This multi-function control unit is equipped with a program setting function, preset function, and integrating function. The front panel simplifies operation.
专用电源PE系列可向质量流量控制器、质量流量计、压力调节器提供稳定的电源并具有显示功能，此外还能提供稳定的标准流量设定电压。此系列包含了流量输出警报功能，提供0信号以及4-20mA，并能同时适用于6个流量控制器。
它可以把PAC系列专用电源输入的设定流量用标准电压(+5V DC)转换成任意的流量设定信号，输入到质量流量控制器。
SU-503ED：数字式 SU-502EA：模拟式
如果质量流量控制器中产生了不良现象时，为了找出原因，必须要发现构成MFC系统的SEC・电源・显示器・设定器・电缆等异常以及SEC自身的不良原因。通过MFT-20可以对驱动SEC、输入输出的电压进行监测，或者通过MFT-20的控制，检查SEC是否正常。因此，在从装置配管上卸下SEC之前，可以迅速地确认SEC的故障以及电源等的故障。并且，通过内置在主体中的电位差计也可以控制SEC。
不必卸下配管，可以简便地进行检测。
不需要电源(使用原有的信号电缆的电源)
可以阀门全开/全关闭
可以使用自动清零功能(仅装备了自动清零功能的SEC)
* Devicenet is a trademark of Open DeviceNet Vender Association.
PROFIBUS is a trademark of PROFIBUS International.
EtherCAT is a trademark of Beckhoff Automation GmbH, Germany.