Application
Halbleiter und FPD
High performance auto pressure regulator with installed pressure sensor and piezo actuator valve. Digital/Analog and DeviceNet™ communications.
High precision liquid mass flow controller using the sensor with a unique cooling method. Can control from micro-liter to ultra low flow rate.
The compact vaporization system does not require carrier gas, it can be used with either a liquid or gas flow meter, allowing for easy integration for direct liquid injection.
This dissolved ozone concentration monitor is able to cover a broad measuring range from low concentrations to high concentrations.
The exhaust pressure controller maintains pressure within a chamber at any desired level. Equipped the high-resolution stepper motor and butterfly valve.
Support for multi-batu, single-bath, and dingle-wafer cleaning systems
24-hour real-time monitoring of FPM solution concentrations in semiconductor wet-etching processes
The IR-150 is designed for real time inline concentration measurement using a Non-dispersive infrared (NDIR) method
Der GD-PROFILER 2 ist ein simultan messendes Glimmentladungsspektrometer mit einem 0,5 m Polychromator, der mit bis zu 47 Kanälen ausgerüstet werden kann. Er kann optional mit einem leistungsstarken 0,64 Meter Monochromator, der die Auswahl beliebiger weiterer Analysenlinien bietet, zur sequenziell-simultan arbeitenden Kombination (SEQ-SIM) ausgebaut werden.
Durch seine hervorragende optische Auflösung ist der GD-PROFILER HR die beste Lösung, wenn viele Elemente in vielen verschiedenen Matrizes analysiert werden müssen. Er bietet extrem niedrige Nachweisgrenzen und ist die ideale Lösung in Matrizes wie Ti, Zr, Edelmetalle usw.
Der GD-PROFILER HR ist ein simultan messendes Glimmentladungsspektrometer mit einem 1,0 m Polychromator, der mit bis zu 60 Kanälen ausgerüstet werden kann. Er kann optional mit einem leistungsstarken 1,0 m Monochromator ausgebaut werden.