Application
Halbleiter und FPD
Low cost solenoid valve mfc's are suitable for flow control from 0.2sccm to 500slm N2 equivalent.
High stability, compact mixed injection vaporizer system using the new vaporization method, "tornado flow". Suitable for vaporizing liquid sources pyrolyzed easily.
Vaporize liquid source stably by the gas-liquid mixture vaporization method. Can be used for low temperature and large flow production.
The best-selling digital mass flow controller offering multi range/multi gas solutions. High accuracy, fast response, and compact size. All metal.
Endpoint controller for plasma etch cluster tools: Simultaneous Real Time Multi-Chamber - Multi diagnosis monitor
Das sowohl für die Anforderungen von Biologen als auch für Forschungsanwendungen ausgelegte OpenPlex ist ein kompaktes System für die bildgebende Oberflächenplasmonenresonanz, das mit einer flexiblen Plattform ausgestattet ist.
The fast response piezo actuator valves are equipped with metal diaphragms and metal O-rings.
Achieves dramatic cost reductions in advanced mask inspections
