Dünnschicht Kontrolle

Endpoint controller for plasma etch cluster tools: Simultaneous Real Time Multi-Chamber - Multi diagnosis monitor

Das sowohl für die Anforderungen von Biologen als auch für Forschungsanwendungen ausgelegte OpenPlex ist ein kompaktes System für die bildgebende Oberflächenplasmonenresonanz, das mit einer flexiblen Plattform ausgestattet ist.

The fast response piezo actuator valves are equipped with metal diaphragms and metal O-rings.

Low cost solenoid valve mfc's are suitable for flow control from 0.2sccm to 500slm N2 equivalent.

High-speed response and compact profile make the TMAH/H2O2 Solution Concentration Monitor the ideal choice for wafer and batch type cleaning devices

HORIBA Scientific’s triple grating Raman spectrometers offer the ultimate in spectroscopic performance, and are ideally suited for fundamental research and advanced application of chemical analysis using Raman spectroscopy.

In-Line Spectroscopic Ellipsometer for Web Coater and Roll to Roll Systems

Produkte: UVISEL VIS: 210-880 nm | UVISEL FUV: 190-880 nm | UVISEL NIR: 245-2100 nm | UVISEL ER: 190-2100 nm | UVISEL VUV: 145-880 nm

Messung dünner Schichten und optischer Konstanten. Für Forschung und Prozessentwicklung.

Integrated Spectroscopic Ellipsometer and Spectroscopic Reflectometer

High stability and accuracy pressure controller for back side wafer cooling in semiconductor manufacturing, installed piezo actuator valve and pressure sensor.