Industry
Metrologie
The UVISEL VIS spectroscopic ellipsometer covers the spectral range from 210 to 880 nm, and can be easily extended in both FUV and NIR range (see UVISEL FUV and NIR models). The measurement is performed in a few minutes and is extremely repeatable.
The UVISEL NIR spectroscopic ellipsometer extends the UVISEL VIS in the near infrared spectral range up to 2100 nm.
The UVISEL FUV spectroscopic ellipsometer extends the UVISEL VIS down to 190 nm.
The UVISEL ER-Extended Range spectroscopic ellipsometer covers a wide spectral range from 190 to 2100 nm.
The UVISEL VUV ellipsometer provides the best combination of superior VUV performance and experimental flexibility to determine thin film thickness and optical constants across the wavelength range 142 to 880 nm.
Durch seine hervorragende optische Auflösung ist der GD-PROFILER HR die beste Lösung, wenn viele Elemente in vielen verschiedenen Matrizes analysiert werden müssen. Er bietet extrem niedrige Nachweisgrenzen und ist die ideale Lösung in Matrizes wie Ti, Zr, Edelmetalle usw.
Der GD-PROFILER HR ist ein simultan messendes Glimmentladungsspektrometer mit einem 1,0 m Polychromator, der mit bis zu 60 Kanälen ausgerüstet werden kann. Er kann optional mit einem leistungsstarken 1,0 m Monochromator ausgebaut werden.
Endpoint controller for plasma etch cluster tools: Simultaneous Real Time Multi-Chamber - Multi diagnosis monitor
Produkte: UVISEL VIS: 210-880 nm | UVISEL FUV: 190-880 nm | UVISEL NIR: 245-2100 nm | UVISEL ER: 190-2100 nm | UVISEL VUV: 145-880 nm
Messung dünner Schichten und optischer Konstanten. Für Forschung und Prozessentwicklung.