Metrology

Visualisez vos échantillons et mesurez vos épaisseurs et constantes optiques en quelques clics!

« Avec l’Auto SE, la simplicité des analyses comme vous ne l’aviez jamais imaginée ! »

Le GD-Profiler 2™ permet l’analyse simultanée de tous les éléments y compris les gaz (azote, oxygène, chlore, hydrogène). Il est l’outil idéal pour la caractérisation des surfaces, des couches minces, des dépôts et le suivi de productions.

Le granulomètre LB-550 utilise la technique de diffusion dynamique de la lumière et permet de mesurer des solutions concentrées, jusqu’à 40% en poids, sur une large gamme de 1nm à 6 microns.

Achieves dramatic cost reductions in advanced mask inspections

For use in combination with Manufacturing Devices. Low-cost reticle/mask particle inspection with enhanced versatility and compactness.

Low running costs thanks to a compact design, plus remarkable versatility

High sensitive particle detection down to 0.35µm.