Ellipsomètres

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Ellipsomètres In-Situ et En-Ligne

Les ellipsomètres spectroscopiques in-situ permettent un contrôle en temps réel des dépôts et gravure des couches minces avec une résolution de l’ordre de l’angstrom. Ils fournissent en temps réel le calcul de l’épaisseur et des constantes optiques des couches minces.

UVISEL In-Line Spectroscopic Ellipsometer

UVISEL Ellipsomètre Spectroscopique en Ligne

Ellipsomètre spectroscopique en ligne pour les systèmes roll to roll

UVISEL Plus In-Situ Spectroscopic Ellipsometer

Ellipsomètre spectroscopique UVISEL Plus In-Situ

Dédié au contrôle in-situ des procédés en couches minces. Couvre la gamme spectrale 190-2100nm