
Ellipsomètres
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- American Vacuum Society (AVS), November 6-11, Nashville, TN
- Materials Research Society (MRS) Fall, November 27-December 2, Boston, MA
Ellipsomètres Spectroscopiques
Les ellipsomètres spectroscopiques mesurent avec grande précision les épaisseurs d'un empilement de couches minces et les constantes optiques (n,k). Ils apportent également de riches informations sur les matériaux constituant la couche telles que: l'anisotropie, les gradients d'indice, la morphologie, la composition, la présence d'interface ou encore la cristallinité.
Produits : UVISEL VIS : 210-880 nm | UVISEL FUV : 190-880 nm | UVISEL NIR : 245-2100 nm | UVISEL ER : 190-2100 nm |
Idéal pour la caractérisation des couches minces en recherche et développement.
L’UVISEL 2 VUV est l’ellipsomètre le plus rapide pour la mesure sous vide des couches minces sur la gamme spectrale 147 – 2100 nm.
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