熱拡散(Diff/LPCVD)

マスフローコントローラ
SEC Series

オートリフィルシステム
LU Series

液体微小デジタルマスフローメータ
LF-F Series

液体デジタルマスフローメータ
XF Series

コンパクトベーキングシステム
LSC Series

液体材料気化システム
MV Series

ダイレクトインジェクション
VC Series

ピエゾバルブ
PV Series

排気圧コントローラ
EC Series

キャパシタンスマノメータ
VG-200/500

チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ
IR-400

コンパクトプロセスガスモニタ
MICROPOLE System