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ＦＰＤ(フラットパネルディスプレー)検査分野に参入

1997年5月20日 - −高分解能(従来比50倍)のＦＰＤ品位検査装置− ベンチャー企業と共同で開発に成功

世界初　次世代シリコンウエハ(300mm)対応

1996年12月 2日 - フラットネステスタ（平坦度測定機）を開発

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