さまざまな用途のガス種や流量に合わせた製品で課題解決をご提案します。
最先端プロセスを支えるマスフローモジュール
フロースプリッタ
基盤の大型化や緻密な供給制御に対応を可能とするガス分配ユニット
ご使用ニーズに合ったモデルをラインアップ
デジタルマスフローコントローラ
アナログマスフローコントローラ
ベーシックかつコンパクトモデルで幅広い産業に対応
マスフローコントローラをご使用いただけるさまざまなガスについて、分野と特徴で探すことができます。
産業ガス
エレクトロニクス
環境分析/医療
都市ガス/燃焼ガス
混合ガス
不活性ガス
可燃性ガス
支燃性ガス
特殊高圧ガス
毒性ガス
