マスフローコントローラ SEC-400 Series

概要

サーマルバルブを搭載した安定性のよいアナログマスフローコントローラ。様々な市場で多くご使用いただいています。

特長

  •  ±0.5F.S.に対応:SEC-405(ガス種限定)
  • 0.1CCMから200SLM(N2)までの流量制御に対応
  • 面間距離106㎜のコンパクトタイプ(SEC-300タイプ)

製造会社: HORIBA STEC

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimensions of Mass flow controllers SEC-400 series
Mass flow controllers SEC-400 series

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