サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series

概要

半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。

特長

  • 拡張性/メンテナンス性の向上
    マスターコントローラとマスフローコントローラで構成されており、最大15分岐まで拡張が可能です。
    マスフローコントローラ単体の交換ができるため、メンテナンス、仕様変更、修理が容易です。

  • 幅広い流量レンジに対応
    マスフローコントローラの組み合わせにより、低差圧から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。

  • 面内均一性によるウェハの品質向上
    同じ濃度のガスをフロースプリッタで分岐することにより、ウェハの面内均一性を向上させることができ、品質向上に貢献します。

 

 


製造会社: HORIBA STEC

仕様

 

型式・仕様選定表

 

 

 

「お見積りはこちら」より仕様ご選定の上、お問合せ下さい。価格は仕様により異なりますので、別途お見積り致します。

お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

株式会社堀場エステック
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フリーダイヤル 0120-077-633

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9:00~12:00/13:00~17:00
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オープンソースソフトウェア

本製品には型式により堀場エステック以外の第三者が権利を有するオープンソースソフトウェアが含まれています。
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