半導体や液晶製造をはじめとするエレクトロニクス関連市場では、高品質の窒素ガスやモノシラン、アルシン、ホスフィンなど60種類以上ものガスが使われています。
主なガスの紹介
- 高純度ガス
窒素(N2) 水素(H2)、酸素(O2) ヘリウム(He) アルゴン(Ar) など 特殊高圧ガス/一般高圧ガス ※保安規則より抜粋
アルシン(AsH3) ジシラン（Si2H6) ジボラン(B2H6) セレン化水素（H2Se) ホスフィン(PH3) モノゲルマン(GeH4） モノシラン(SiH4)- 特殊材料ガス
アルシン(AsH3) 三フッ化ヒ素(AsF3) 五フッ化ヒ素(AsF5) 三塩化ヒ素(AsCl3) 五塩化ヒ素(AsCl5)
ジボラン(B2H6)、三フッ化ホウ素(BF3)、三塩化ホウ素(BCl3)、三臭化ホウ素(BBr3)
モノシラン(SiH4) ジシラン(Si2H6) ジクロルシラン(SiH2Cl2) 三塩化シラン(SiHCl3) 四塩化ケイ素(SiCl4) 四フッ化ケイ素(SiF4)
ホスフィン(PH3) 三フッ化リン(PF3) 五フッ化リン(PF5) 三塩化リン(PCl3) 五塩化リン(PCl5) オキシ塩化リン(POCl3)
セレン化水素(H2Se) モノゲルマン(GeH4) - 液体材料
TEOS（Si(OC2H5)4） 六塩化二ケイ素(2SiCl4) High-k材料 Low-k材料 など
四塩化ケイ素（SiCl4) 四塩化ゲルマン（GeCl4） など
推奨モデル
マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載した高性能サーマル式マスフローモジュール。レギュレータ、圧力計、フィルタが不要で、最先端半導体のシンプル・軽量なガスラインを構築。
マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。
