製造業ではさまざまな用途でガスが多く使用されています。ガス流量を正確に計測・制御することで、製品の品質向上、省エネに役立っています。また、病院で使用される医療用ガスもこれに含まれます。
主なガスの紹介
- 工業用単体ガス
窒素(N2) 酸素(O2) アルゴン(Ar) ネオン(Ne) クリプトン(Kr) キセノン(Xe)
ヘリウム(He) 二酸化炭素/炭酸ガス(CO2) 水素(H2) アセチレン(C2H2) LPガス など - 工業用混合ガス
溶接用シールガス CO2レーザ発振用ガス など - 半導体用特殊ガス（高純度ガス半導体材料ガス）
高純度窒素 高純度酸素 高純度アルゴン モノシラン(SiH4) アルシン(AsH3) ホスフィン(PH3) ジボラン(B2H6) モノゲルマン(GeH4) など - 医療用ガス
医療用酸素 合成空気 ※純酸素と純窒素を空気と同じ組成割合に混合し製造した人口空気 亜酸化窒素（N2O、笑気ガス） など
推奨モデル
信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。