ヘリウム・ネオン・アルゴンなど希ガス類元素や、窒素などに代表される、化学反応を起こさない安定した気体です。
窒素(N2) 二酸化炭素/炭酸ガス(CO2) アルゴン(Ar) ヘリウム(He) など
信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。
MEMS技術を用いたコンパクトマスフローコントローラ。
サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ
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