お客様ご自身でガス種の変更や、フルスケールの流量変更が行える機能です。仕様変更には専用のソフトウェア(Configuration Software)をご準備しています。マスフローコントローラをガスパネルや配管から取り外す事なく、仕様が変更できます。また、お客様に予備品として管理いただいているMFCの低減と、コスト・時間の削減をご提案できる機能です。

マルチガス対応

ガス種の変更が自由です。

例:SEC-Z500X MR・MG02 

マルチレンジ対応

フルスケール変更が自由です。

例:SEC-Z500X MR・MG04

フルスケール流量の変更範囲

使用ガスのフルスケール流量値(FS値)は、プロセスガス個々の熱伝導率の違いにより、同じFS値であってもMR・MG番号が異なる場合があります。より高精度な流量校正を行う目的により弊社では下記MR・MG番号をラインアップしています。

ガス・フルスケール流量の一例(SEC-Z50□Xシリーズ)

マルチガス・マルチレンジ対応機種

[SEC-N100 Series] [SEC-Z500X Series] [SEC-Z700X Series] [CRITERION D500]

   

 

Configuration Software: 仕様変更ソフトについて

マルチレンジ/マルチガス機能は、Configuration Softwareにより行います。本ソフトは使用されるガス種、流量レンジを入力して頂く事により“MR・MG番号”を選択できる機能や、お客様の受入検査時に行われるN2ガスによる流量測定時に便利な“N2ガス換算機能”を持っています。

ソフトのご使用方法については、以下動画をご確認ください。
 ・仕様変更ソフトウエアの入手と使用開始準備
 ・仕様変更ソフトの操作説明
 ・デジタルマスフローコントローラ制御簡易ソフトの説明