特殊高圧ガスには、７種のガスが定められています。
（モノシラン、ジシラン、アルシン、ホスフィン、ジボラン、モノゲルマン、セレン化水素）
高圧ガス保安法では、ガスを使用する所在地の都道府県関係部署に、許可や届出の確認を行ったうえでガスの消費（使用）を開始するように取り決められています。
主なガスの紹介
アルシン(AsH3) ジシラン（Si2H6) ジボラン(B2H6) セレン化水素（H2Se) ホスフィン(PH3) モノゲルマン(GeH4） モノシラン(SiH4)
推奨モデル
マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。
