人間が吸引したり触れると害があるガスを毒性ガスといい、法律では恕限量が200PPM以下のガスと定義されています。
「恕限量/じょげんりょう」とは、その雰囲気の中で健康な成人が８時間の軽作業をして影響を与えない最大量という意味です。（許容濃度とも言われています）
主なガスの紹介
アルシン(AsH3) 塩素(Cl2) 三フッ化ホウ素(BF3) フッ素(F2) ホスフィン(PH2) モノシラン(SiH4) など
推奨モデル
マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。