毒性ガス

人間が吸引したり触れると害があるガスを毒性ガスといい、法律では恕限量が200PPM以下のガスと定義されています。
「恕限量/じょげんりょう」とは、その雰囲気の中で健康な成人が8時間の軽作業をして影響を与えない最大量という意味です。(許容濃度とも言われています)

主なガスの紹介

アルシン(AsH3) 塩素(Cl2) 三フッ化ホウ素(BF3) フッ素(F2) ホスフィン(PH2) モノシラン(SiH4) など

推奨モデル

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
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