半導体プラズマモニタ用分光器

HORIBAが独自の光学設計技術で、紫外から近赤外の広い波長範囲で、高分解能で高いスループットを有する分光器を提供します。高度なエレクトロニクス技術により、高速動作かつ高ダイナミックレンジがが得られ、半導体の、エンドポイントモニタや、プラズマ発光分光（OES）に最適です。HORIBAの半導体OES分光器は、お客様から長く高い評価をいただいていますが、本機種は最上位機種です。

EitherCAT、Ethernet, USBが接続可能な小型分光器です。自社設計、自社製の凹面回折格子を搭載した分光器で、迷光や収差の小さい光学系を実現しています。200 nm-900 nm の波長範囲で、高感度・高分解能設計のため、半導体プラズマモニタ、ウェハ検査用にも使用可能です。他の波長範囲ご希望の方もご相談ください。