堀場エステックのプロセスモニタリング機器で、品質の改善、不良の未然防止に、また各種制御機器へフィードバックコントロールすることで生産性向上に貢献します。
チャンバ内に存在するガス成分をモニターする四重極質量分析計。
オールメタル構造の自己温調型隔膜式真空計。
プロセス装置に搭載し排ガス成分（SiF4、CF4）をリアルタイムにモニタリング可能。
バブリング供給ライン用インラインガス濃度モニタ。材料ガスの安定供給に。
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